勻膠機(jī)/旋涂?jī)x有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們?cè)矶际且粯拥?,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 勻膠機(jī)盡管是一款原理比較簡(jiǎn)單的實(shí)驗(yàn)室小型儀器,但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時(shí)間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就是控制精度(accuracy),沒有控制精度,其他的設(shè)置都是虛無。這也是某些品牌勻膠機(jī)最致命的問題所在。
安賽斯(中國(guó))有限公司提供的HC系列勻膠機(jī),采用進(jìn)口電機(jī)及觸屏控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)轉(zhuǎn)速、時(shí)間和加速度的精確控制,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm,實(shí)現(xiàn)勻膠過程的高精度和高重復(fù)性。
最新升級(jí)的HC系列勻膠機(jī)有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多個(gè)型號(hào),滿足不同尺寸晶元的勻膠需求。 |