可編程程控勻膠機

可編程程控勻膠機

可編程精密勻膠機

型號：HC150SE

HC150SE勻膠機，采用高級PLC全自動程序控制，轉速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點：

l 設計緊湊，可放置在手套箱內。

l HDPE內腔與不銹鋼機身可分離，便于清潔和移動。

l 4.3英寸彩色觸屏控制，簡單易用，運行狀態(tài)實時顯示。

l 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕。

l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔；

l 內腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；

l 高級PLC全自動程序控制，可編程；

l 帶真空度安全互鎖檢測功能；

l 可設置用戶密碼保護功能；

l 配置可調基座，方便調節(jié)水平；

技術參數(shù)：

l 適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；

l 旋涂速度：100~12000rpm；

l 轉速分辨率：1rpm；

l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l 最大旋涂時間：3000s；

l 旋涂時間精度：0.1s；

l 內腔直徑212mm，內腔采用*的凹面防濺設計；

l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程10組程序，每組程序10步；

l 電源輸入：AC200-230V

設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm