產(chǎn)品特色

? 設(shè)計緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；

? 4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；

? 一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計，有效防濺；

? 高級PLC全自動程序控制，可編程；

? 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；

? 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設(shè)計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數(shù)自動保存功能。

? 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；

? 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；

? 可設(shè)置用戶密碼保護功能；

? 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

性能參數(shù)

? 適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；

? 旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

? 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

? 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

? 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計；

? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

? 電源輸入：AC200-230V；